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技术文摘

MEMS压力传感器是基于 MEMS(微机电)技术,建立在微米/纳米基础上,在单晶硅片上刻融制作惠斯登电桥组成的硅应变计, MEMS压力传感器具有输出灵敏度高、性能稳定、体积小巧、环境适应性强、重复性好等综合性能,这也是它广泛应用于各领域的基本原因。